電流分光法を用いたトンネル接合に関する研究
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Date
2009-03-23
Authors
Journal Title
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Volume Title
Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
博士（工学）, 2008, 基礎理工学
Keywords
トンネル接合, Al薄膜酸化, 絶縁破壊, tunneling janction, Al thin film, oxidation, electric breakdown