誘導結合インタフェースを用いた非接触ウェーハテストに関する研究

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Date

2011-03-23

Authors

Yoshida, Yoichi / 吉田, 洋一

Publisher

慶應義塾大学理工学研究科

Description

博士（工学）, 2010, 総合デザイン工学

Keywords

誘導結合, ウェーハテスト, インタフェース, inductive coupling, wafer test, interface

URI

http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2486

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