| dc.contributor.author |
Yamada, Takayuki / 山田, 髙幸 |
en_US |
| dc.date.accessioned |
2014-05-09T07:09:08Z |
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| dc.date.available |
2014-05-09T07:09:08Z |
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| dc.date.issued |
2011-08-30 |
en_US |
| dc.identifier.uri |
http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2533 |
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| dc.description |
博士（工学）, 2011, 総合デザイン工学 |
en_US |
| dc.publisher |
慶應義塾大学理工学研究科 |
en_US |
| dc.subject |
常温接合 |
ja |
| dc.subject |
微細加工 |
ja |
| dc.subject |
オーバーレイ誤差 |
ja |
| dc.subject |
surface activated bonding |
en |
| dc.subject |
microfabrication |
en |
| dc.subject |
overlay error |
en |
| dc.title |
薄膜の常温接合による3次元微細加工技術の開発とオーバーレイ誤差の要因解析 |
en_US |
| dc.type |
学位論文 |
en_US |
