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３次元サブマイクロ・ナノ機械加工システムとそれを用いた硬脆性材料の高精度加工に関する研究
| タイトル: | ３次元サブマイクロ・ナノ機械加工システムとそれを用いた硬脆性材料の高精度加工に関する研究 |
| 著者: | Nakamoto, Kazuo / 中元, 一雄 |
| 記述: | 博士（工学）, 2012, 総合デザイン工学専攻 |
| URI: | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2638 |
| 日付: | 2013-02-01 |
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