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Si(100)基板上リン化ホウ素の結晶構造と電気的特性
| タイトル: | Si(100)基板上リン化ホウ素の結晶構造と電気的特性 |
| 著者: | Ino, Yuji / 伊野, 裕司 |
| 記述: | 博士（工学）, 2012, 総合デザイン工学専攻 |
| URI: | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2679 |
| 日付: | 2013-03-23 |
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