SIMOX基盤とSIMOXデバイスの特性評価

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dc.contributor.author	Yoshino, Akira / 吉野, 明	en_US
dc.date.accessioned	2014-05-09T06:57:13Z
dc.date.available	2014-05-09T06:57:13Z
dc.date.issued	1999-03-04	en_US
dc.identifier.uri	http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/982
dc.description	博士 (電気工学)専攻), 1998年度	en_US
dc.language	eng	en_US
dc.publisher	慶應義塾大学理工学研究科	en_US
dc.title	SIMOX基盤とSIMOXデバイスの特性評価	en_US
dc.title.alternative	Characterization of SIMOX (separation-by-implanted-oxygen) materials and devices	en_US
dc.type	学位論文	en_US

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