Si1-xGex上歪Si基板の欠陥及び電気的特性評価に関する研究
| dc.contributor.author | Sumitomo, Takamichi / 住友, 隆道 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-05-09T07:08:07Z | |
| dc.date.available | 2014-05-09T07:08:07Z | |
| dc.date.issued | 2008-03-03 | en_US |
| dc.description | 博士（工学）, 2007, 総合デザイン工学専攻 | en_US |
| dc.identifier.uri | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2220 | |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | en_US |
| dc.subject | SiGe | ja |
| dc.subject | 歪シリコン | ja |
| dc.subject | Si | ja |
| dc.subject | SiGe | en |
| dc.subject | strained Si | en |
| dc.subject | Si | en |
| dc.title | Si1-xGex上歪Si基板の欠陥及び電気的特性評価に関する研究 | en_US |
| dc.type | 学位論文 | en_US |