Si1-xGex上歪Si基板の欠陥及び電気的特性評価に関する研究

Files

document.pdf (2.52 MB)

description_en.pdf (44.39 KB)

description_ja.pdf (115.46 KB)

Date

2008-03-03

Authors

Sumitomo, Takamichi / 住友, 隆道

Publisher

慶應義塾大学理工学研究科

Description

博士（工学）, 2007, 総合デザイン工学専攻

Keywords

SiGe, 歪シリコン, Si, SiGe, strained Si, Si

URI

http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2220

Collections