プラズマ・シース共鳴を用いた容量性結合プラズマの制御に関する研究
| dc.contributor.author | Goto, Naohiko / 後藤, 直彦 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-05-09T07:06:32Z | |
| dc.date.available | 2014-05-09T07:06:32Z | |
| dc.date.issued | 2000-09-23 | en_US |
| dc.description | 博士 (工学), 2000年度, 電気工学専攻 | en_US |
| dc.identifier.uri | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1650 | |
| dc.language | jpn | en_US |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | en_US |
| dc.title | プラズマ・シース共鳴を用いた容量性結合プラズマの制御に関する研究 | en_US |
| dc.title.alternative | Fundamental Study of Capacitively Coupled Plasma Control using Plasma-Sheath Resonance | en_US |
| dc.type | 学位論文 | en_US |