プラズマ・シース共鳴を用いた容量性結合プラズマの制御に関する研究

Date

2000-09-23

Authors

Goto, Naohiko / 後藤, 直彦

Publisher

慶應義塾大学理工学研究科

Description

博士 (工学), 2000年度, 電気工学専攻

URI

http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1650

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