One-side-electrode-type fluid-based inclination sensor combined with CMOS detection circuitry

dc.contributor.author	ASRULNIZAM BIN, ABD MANAF / アスルルニザムビン, アブドルマナフ	en_US
dc.contributor.authorfulldescription	ASRULNIZAM BIN, ABD MANAF / アスルルニザムビン, アブドルマナフ / アスルルニザムビン, アブドルマナフ	en_US
dc.date.accessioned	2014-05-09T07:08:22Z
dc.date.available	2014-05-09T07:08:22Z
dc.date.issued	2009-03-23	en_US
dc.description	博士（工学）, 2008, 基礎理工学	en_US
dc.identifier.uri	http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2293
dc.publisher	慶應義塾大学理工学研究科	en_US
dc.subject	inclinometer	en
dc.subject	surface tensioning	en
dc.subject	capacitance	en
dc.subject	sensor	en
dc.subject	su-8	en
dc.subject	PDMS	en
dc.title	One-side-electrode-type fluid-based inclination sensor combined with CMOS detection circuitry	en_US
dc.title.alternative	CMOS集積回路を用いた片面電極液体封入式傾斜センサ	en_US
dc.type	学位論文	en_US

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