プラズマを用いたポリシリコンゲート電極の微細加工の研究
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Date
2007-08-01
Authors
Journal Title
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
博士（工学）, 2007, 総合デザイン工学専攻
Keywords
プラズマ, 半導体プロセス, レジスト, トリミング, SO2, plasma, semiconductor-process, resist, triming