プラズマを用いたポリシリコンゲート電極の微細加工の研究
| dc.contributor.author | Goto, Takeshi / 後藤, 剛 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-05-09T07:08:12Z | |
| dc.date.available | 2014-05-09T07:08:12Z | |
| dc.date.issued | 2007-08-01 | en_US |
| dc.description | 博士（工学）, 2007, 総合デザイン工学専攻 | en_US |
| dc.identifier.uri | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2264 | |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | en_US |
| dc.subject | プラズマ | ja |
| dc.subject | 半導体プロセス | ja |
| dc.subject | レジスト | ja |
| dc.subject | トリミング | ja |
| dc.subject | SO2 | ja |
| dc.subject | plasma | en |
| dc.subject | semiconductor-process | en |
| dc.subject | resist | en |
| dc.subject | triming | en |
| dc.title | プラズマを用いたポリシリコンゲート電極の微細加工の研究 | en_US |
| dc.type | 学位論文 | en_US |