CMOSトランジスタにおけるメタル電極・歪チャネル技術の開発
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Date
2006-01-11
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
博士(工学), 2005, 総合デザイン工学専攻
Keywords
メタルゲート, ショットキー接合, 歪シリコンチャネル, Metal gate, Schottky junction, Strained silicon channel