CMOSトランジスタにおけるメタル電極・歪チャネル技術の開発
dc.contributor.author | Yagishita, Atsushi / 八木下, 淳史 | en_US |
dc.date.accessioned | 2014-05-09T07:07:26Z | |
dc.date.available | 2014-05-09T07:07:26Z | |
dc.date.issued | 2006-01-11 | en_US |
dc.description | 博士(工学), 2005, 総合デザイン工学専攻 | en_US |
dc.identifier.uri | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1997 | |
dc.language | jpn | en_US |
dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | en_US |
dc.subject | メタルゲート | ja |
dc.subject | ショットキー接合 | ja |
dc.subject | 歪シリコンチャネル | ja |
dc.subject | Metal gate | en |
dc.subject | Schottky junction | en |
dc.subject | Strained silicon channel | en |
dc.title | CMOSトランジスタにおけるメタル電極・歪チャネル技術の開発 | en_US |
dc.title.alternative | CMOS toranjisuta niokeru metaru denkyoku yugami chaneru gijutsu no kaihatsu | en_US |
dc.type | 学位論文 | en_US |