CMOSトランジスタにおけるメタル電極・歪チャネル技術の開発

dc.contributor.authorYagishita, Atsushi / 八木下, 淳史en_US
dc.date.accessioned2014-05-09T07:07:26Z
dc.date.available2014-05-09T07:07:26Z
dc.date.issued2006-01-11en_US
dc.description博士(工学), 2005, 総合デザイン工学専攻en_US
dc.identifier.urihttp://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1997
dc.languagejpnen_US
dc.publisher慶應義塾大学理工学研究科en_US
dc.subjectメタルゲートja
dc.subjectショットキー接合ja
dc.subject歪シリコンチャネルja
dc.subjectMetal gateen
dc.subjectSchottky junctionen
dc.subjectStrained silicon channelen
dc.titleCMOSトランジスタにおけるメタル電極・歪チャネル技術の開発en_US
dc.title.alternativeCMOS toranjisuta niokeru metaru denkyoku yugami chaneru gijutsu no kaihatsuen_US
dc.type学位論文en_US

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