セラミックス窒化物薄膜の創製および微細構造制御

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Date

2005-03-23

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慶應義塾大学理工学研究科

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博士(工学), 2004, 基礎理工学専攻

Keywords

微細構造, 微小硬度, 相変態, 格子定数, 準安定相, Microstructure, Microhardness, Phase transformation, Lattice Parameter, Metastable Phase

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