Si(100)基板上リン化ホウ素の結晶構造と電気的特性
Loading...
Date
2013-03-23
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
博士（工学）, 2012, 総合デザイン工学専攻
Keywords
リン化ホウ素, ヘテロユピタキシー, Ⅲ－Ⅴ化合物半導体, boron phosphide, heteroepitaxy, Ⅲ－Ⅴ compound semiconductor, ohmic