２周波容量結合型プラズマによるモールディング下でのSi深堀エッチングの形状発展モデリング
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Date
2009-03-23
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
博士（工学）, 2008, 総合デザイン工学
Keywords
Si深堀エッチング, 2周波容量結合型プラズマ, プラズマエッチング, Deep-Si etching, If-ccp, Plasma etching