２周波容量結合型プラズマによるモールディング下でのSi深堀エッチングの形状発展モデリング
| dc.contributor.author | Hamaoka, Fukutaro / 濱岡, 福太郎 | en_US |
| dc.contributor.authorfulldescription | Hamaoka, Fukutaro / 濱岡, 福太郎 / ハマオカ, フクタロウ | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-05-09T07:08:25Z | |
| dc.date.available | 2014-05-09T07:08:25Z | |
| dc.date.issued | 2009-03-23 | en_US |
| dc.description | 博士（工学）, 2008, 総合デザイン工学 | en_US |
| dc.identifier.uri | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2311 | |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | en_US |
| dc.subject | Si深堀エッチング | ja |
| dc.subject | 2周波容量結合型プラズマ | ja |
| dc.subject | プラズマエッチング | ja |
| dc.subject | Deep-Si etching | en |
| dc.subject | If-ccp | en |
| dc.subject | Plasma etching | en |
| dc.title | ２周波容量結合型プラズマによるモールディング下でのSi深堀エッチングの形状発展モデリング | en_US |
| dc.type | 学位論文 | en_US |