AIP法により作製したTiN/TiAlYN積層薄膜の微細構造分析
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Date
2021-03-23
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（工学）, 2020, 開放環境科学専攻
Keywords
ナノマテリアル, 薄膜合成, 高機能材料, 電子顕微鏡, Nano material, Thin film, electron microscope