後期遷移金属原子を内包したシリコンケージ超原子集積膜の電気伝導性
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Date
2024-09-20
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（理学）, 2024, 基礎理工学専攻
Keywords
クラスター, スパッタリング, 蒸着, 電気伝導性, cluster, sputtering, deposition, conductivity