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プラズマ・シース共鳴を用いた容量性結合プラズマの制御に関する研究
| タイトル: | プラズマ・シース共鳴を用いた容量性結合プラズマの制御に関する研究 |
| 著者: | Goto, Naohiko / 後藤, 直彦 |
| 記述: | 博士 (工学), 2000年度, 電気工学専攻 |
| URI: | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1650 |
| 日付: | 2000-09-23 |
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