プラズマ・シース共鳴を用いた容量性結合プラズマの制御に関する研究

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dc.contributor.author	Goto, Naohiko / 後藤, 直彦	en_US
dc.date.accessioned	2014-05-09T07:06:32Z
dc.date.available	2014-05-09T07:06:32Z
dc.date.issued	2000-09-23	en_US
dc.identifier.uri	http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1650
dc.description	博士 (工学), 2000年度, 電気工学専攻	en_US
dc.language	jpn	en_US
dc.publisher	慶應義塾大学理工学研究科	en_US
dc.title	プラズマ・シース共鳴を用いた容量性結合プラズマの制御に関する研究	en_US
dc.title.alternative	Fundamental Study of Capacitively Coupled Plasma Control using Plasma-Sheath Resonance	en_US
dc.type	学位論文	en_US

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