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DCマグネトロンスパッタリングにおけるターゲットエロージョン形状とプラズマ構造のモデリング
| タイトル: | DCマグネトロンスパッタリングにおけるターゲットエロージョン形状とプラズマ構造のモデリング |
| 著者: | Shidoji, Eiji / 志堂寺, 栄治 |
| 記述: | 博士 (工学), 2000年度, 電気工学専攻 |
| URI: | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1661 |
| 日付: | 2001-02-07 |
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