DCマグネトロンスパッタリングにおけるターゲットエロージョン形状とプラズマ構造のモデリング

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Date

2001-02-07

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慶應義塾大学理工学研究科

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博士 (工学), 2000年度, 電気工学専攻

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URI

http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1661

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2000年度

慶應義塾大学 理工学メディアセンター