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アークイオンプレーティング法により作製した3元系窒化膜およびダイヤモンドライクカーボン膜
| タイトル: | アークイオンプレーティング法により作製した3元系窒化膜およびダイヤモンドライクカーボン膜 |
| 著者: | Kimura, Ayako / 木村, 綾子 |
| 記述: | 博士 (理学), 2001年度, 基礎理工学専攻 |
| URI: | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1717 |
| 日付: | 2002-03-23 |
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