アークイオンプレーティング法により作製した3元系窒化膜およびダイヤモンドライクカーボン膜

Date

2002-03-23

Authors

Kimura, Ayako / 木村, 綾子

Publisher

慶應義塾大学理工学研究科

Description

博士 (理学), 2001年度, 基礎理工学専攻

URI

http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1717

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