アークイオンプレーティング法により作製した3元系窒化膜およびダイヤモンドライクカーボン膜

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dc.contributor.author	Kimura, Ayako / 木村, 綾子	en_US
dc.date.accessioned	2014-05-09T07:06:37Z
dc.date.available	2014-05-09T07:06:37Z
dc.date.issued	2002-03-23	en_US
dc.identifier.uri	http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1717
dc.description	博士 (理学), 2001年度, 基礎理工学専攻	en_US
dc.language	eng	en_US
dc.publisher	慶應義塾大学理工学研究科	en_US
dc.title	アークイオンプレーティング法により作製した3元系窒化膜およびダイヤモンドライクカーボン膜	en_US
dc.title.alternative	Ternary Nitride and Diamond-like Carbon Films Synthesized by Cathodic Arc Deposition	en_US
dc.type	学位論文	en_US

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