タイトル: | Si1-xGex上歪Si基板の欠陥及び電気的特性評価に関する研究 |
著者: | Sumitomo, Takamichi / 住友, 隆道 |
記述: | 博士(工学), 2007, 総合デザイン工学専攻 |
URI: | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2220 |
日付: | 2008-03-03 |
ファイル | サイズ | フォーマット | 閲覧 |
---|---|---|---|
document.pdf | 2.516Mb | 閲覧/開く | |
description_en.pdf | 44.39Kb | 閲覧/開く | |
description_ja.pdf | 115.4Kb | 閲覧/開く |