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Si1-xGex上歪Si基板の欠陥及び電気的特性評価に関する研究
| タイトル: | Si1-xGex上歪Si基板の欠陥及び電気的特性評価に関する研究 |
| 著者: | Sumitomo, Takamichi / 住友, 隆道 |
| 記述: | 博士（工学）, 2007, 総合デザイン工学専攻 |
| URI: | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2220 |
| 日付: | 2008-03-03 |
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| ファイル | サイズ | フォーマット | 閲覧 |
|---|---|---|---|
| document.pdf | 2.516Mb | 閲覧/開く | |
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| description_ja.pdf | 115.4Kb | 閲覧/開く |
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