| dc.contributor.author |
Sumitomo, Takamichi / 住友, 隆道 |
en_US |
| dc.date.accessioned |
2014-05-09T07:08:07Z |
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| dc.date.available |
2014-05-09T07:08:07Z |
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| dc.date.issued |
2008-03-03 |
en_US |
| dc.identifier.uri |
http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2220 |
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| dc.description |
博士（工学）, 2007, 総合デザイン工学専攻 |
en_US |
| dc.publisher |
慶應義塾大学理工学研究科 |
en_US |
| dc.subject |
SiGe |
ja |
| dc.subject |
歪シリコン |
ja |
| dc.subject |
Si |
ja |
| dc.subject |
SiGe |
en |
| dc.subject |
strained Si |
en |
| dc.subject |
Si |
en |
| dc.title |
Si1-xGex上歪Si基板の欠陥及び電気的特性評価に関する研究 |
en_US |
| dc.type |
学位論文 |
en_US |
