低温ポリシリコンTFTの電気的ストレス劣化特性に関する研究
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Date
2010-03-01
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
博士（工学）, 2009, 総合デザイン工学
Keywords
低温ポリシリコンTFT, CMOSインバータ, DAHCストレス, NBTストレス, Low temperature, Poly-Si TFT, DAHC stress, NBT stress