誘導結合インタフェースを用いた非接触ウェーハテストに関する研究

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dc.contributor.author	Yoshida, Yoichi / 吉田, 洋一	en_US
dc.date.accessioned	2014-05-09T07:08:57Z
dc.date.available	2014-05-09T07:08:57Z
dc.date.issued	2011-03-23	en_US
dc.identifier.uri	http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2486
dc.description	博士（工学）, 2010, 総合デザイン工学	en_US
dc.publisher	慶應義塾大学理工学研究科	en_US
dc.subject	誘導結合	ja
dc.subject	ウェーハテスト	ja
dc.subject	インタフェース	ja
dc.subject	inductive coupling	en
dc.subject	wafer test	en
dc.subject	interface	en
dc.title	誘導結合インタフェースを用いた非接触ウェーハテストに関する研究	en_US
dc.type	学位論文	en_US

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description.pdf	250.7Kb	PDF	閲覧/開く