タイトル: | Formation of Shallow p+/n Junction in Silicon using Non-Melt Laser Annealing |
著者: | SITI RAHMAH BINTI AID / シティ ラハマ ビンティ アイド |
記述: | 博士(工学), 2011, 総合デザイン工学 |
URI: | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2566 |
日付: | 2012-03-23 |
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