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新しい高効率紫外・真空紫外マイクロ波放電励起エキシマランプに関する研究
| タイトル: | 新しい高効率紫外・真空紫外マイクロ波放電励起エキシマランプに関する研究 |
| 著者: | Kumagai, Hiroshi / 熊谷, 寛 |
| 記述: | 博士 (工学), 1989年度 |
| URI: | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/484 |
| 日付: | 1990-03-31 |
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