新しい高効率紫外・真空紫外マイクロ波放電励起エキシマランプに関する研究

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dc.contributor.author	Kumagai, Hiroshi / 熊谷, 寛	en_US
dc.date.accessioned	2014-05-09T06:56:39Z
dc.date.available	2014-05-09T06:56:39Z
dc.date.issued	1990-03-31	en_US
dc.identifier.uri	http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/484
dc.description	博士 (工学), 1989年度	en_US
dc.language	jpn	en_US
dc.publisher	慶應義塾大学理工学研究科	en_US
dc.title	新しい高効率紫外・真空紫外マイクロ波放電励起エキシマランプに関する研究	en_US
dc.title.alternative	A study of new high-efficiency ultraviolet and vacuum ultraviolet excimer lamps pumped by microwave discharge	en_US
dc.type	学位論文	en_US

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