ピコ秒サーモリフレクタンス法を用いた薄膜熱物性計測技術
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Date
2004-03-03
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
博士 (工学), 2003年度, 総合デザイン工学専攻
Keywords
薄膜, 熱物性, サーモリフレクタンス法, thin film, thermophysical property, thermoreflectance